微 电子技术是高科技和 信息产业的核心技术。微电子产业是基础性产业,之所以发展得如此之快,除了技术本身对国民经济的巨大贡献之外,还与它极强的渗透性有关。另外,现代战争将是以 集成电路为关键技术、以电子战和信息战为特点的高技术战争。  微电子
集成电路的主要工艺技术,是在50年代后半期硅平面晶体管技术和更早的金属真空涂膜学技术基础上发展起来的。1964年出现了磁双极型集成电路产品。
集成电路制造的 计算机管理,也已开始实现。此外,与大规模集成和超大规模集成的高速发展相适应,有关的器件 材料科学和技术、测试科学和 计算机辅助测试、封装技术和超净室技术等都有重大的进展。 电子技术发展很快,在工艺技术上,微细加工技术,如 电子束、 离子束、X射线等复印技术和 干法刻蚀技术日益完善,使生产上在到亚微米以至更高的光刻水平, 集成电路的集成弃将超大型越每片106—107个元件,以至达到全图片上集成一个复杂的微电子系统。高质量的超薄氧化层、新的 离子注入退火技术、高 电导高 熔点金属以其 硅化物金属化和浅 欧姆结等一系列工艺技术正获得进一步的发展。在微 电子技术的设计和测试技术方面,随着 集成度和集成系统复杂性的提高,冗余技术、容错技术,将在设计技术中得到广泛应用。
 微电子
系统的电子学分支。作为电子学的分支 学科,它主要研究电子或 离子在 固体材料中的运动规律及其应用,并利用它实现信号处理功能的科学,以实现 电路的系统和集成为目的,实用性强。 微电子学又是信息领域的重要基础学科,在这一领域上,微电子学是研究并实现信息获取、传输、存储、处理和输出的科学,是研究信息获取的科学,构成了 信息科学的基石,其发展直接影响着整个 信息技术的发展。微电子科学技术的发展水平和产业规模是一个国家经济实力的重要标志。 微电子学是一门综合性很强的边缘学科,其中包括了 半导体器件物理、 集成电路工艺和集成电路及系统的设计、测试等多方面的内容;涉及了 固体物理学、 量子力学、 热力学与 统计物理学、 材料科学、电子线路、信号处理、 计算机辅助设计、测试和加工、 图论、化学等多个领域。
微电子学是一门发展极为迅速的学科,高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微电子学发展的方向。 信息技术发展的方向是多媒体(智能化)、网络化和个体化。要求系统获取和存储海量的多媒体信息、以极高速度精确可靠的处理和传输这些信息并及时地把有用信息显示出来或用于控制。所有这些都只能依赖于微 电子技术的支撑才能成为现实。超高容量、超小型、超高速、超高频、超低功耗是 信息技术无止境追求的目标,是微 电子技术迅速发展的动力。
微电子学渗透性强,其他学科结合产生出了一系列新的交叉学科。 微机电系统、 生物芯片就是这方面的代表,是近年来发展起来的具有广阔应用前景的新技术。
|